一般指小孔的深度與直徑之比（深經(jīng)比）大于10以上的孔稱為深小孔。例如，常規(guī)加工φ0.3~3mm的小孔和深50~200mm以內(nèi)的深孔（常見的有線切割穿絲孔、液壓氣動元器件的通油、油氣孔、模具或工具電極上特殊的通氣、通油、注塑孔等）。這類深小孔的電火花加工，均采用高速深小孔加工專用機床。其工作原理的要點有三：一是采用中空的管狀電極；二是管中通高壓工作液沖走加工屑；三是加工時電極作回轉(zhuǎn)運動，可使端面損耗均勻，不致受高壓、高速工作液的反作用力而偏斜，相反，高壓流動的工作液在小孔壁按螺旋線軌跡流出孔外，像靜壓軸承那樣，使工具電極管“懸浮”在孔心，不易產(chǎn)生短路，可加工出直線度和圓柱度較好的深小孔。加工時工作電極作軸向進給運動，管電極中通入1~10MPa的高壓工作液（自來水、去離子水、蒸餾水、乳化液或煤油）。由于高壓工作液能迅速將電極產(chǎn)物排除，且能強化火花放電的蝕除作用，因此一加工方法的最大特點是加工速度高，一般小孔加工速度可達20~60mm/min左右，比普通鉆削小孔的速度還要快。這種方法最適合加工φ0.3~3mm左右的小孔，且深徑比可超過100。
用一般空心管狀電極加工小孔，容易在工件上留下毛刺料心，阻礙工作液的高速流通，且過長過細的毛刺會走歪斜，以致引起短路。為此高速加工小深孔電火花加工時，采用特殊冷拔的雙孔管狀電極，其截面上有兩個半月形的孔，這樣加工中電極轉(zhuǎn)動時，在工件孔中不會留下毛刺料心。
在沒有專用電火花高速加工小孔機床的條件下，可設(shè)計制造一個加工深小孔的電極夾頭。要點是要防止工作液泄漏，采用O形橡膠密封圈用螺母壓緊套壓緊夾頭端面；用稍有彈性的尼龍制作電極座，使與電極管配合良好，防止工作液從電極管外壁泄漏。加工小孔、深孔時，電極管下端、工件上方應(yīng)加絕緣材料做的導(dǎo)向裝置。工件下方應(yīng)離工作臺面有一定高度，或墊一塊廢鐵塊，以免孔打穿時打到工作臺面上。
如果孔不深或?qū)庸に俣纫蟛桓撸瑒t用機床上現(xiàn)有的工作液泵沖油即可。反之則應(yīng)另采用壓力較高的泵（如葉片泵可達1~5MPa，多級渦旋泵可達0.5~1MPa，柱塞泵可達5~10MPa）。如果要求被加工孔的圓度較高或孔較深，則最好使工具電極管轉(zhuǎn)動，此時必須設(shè)計制造一個能回轉(zhuǎn)而又不泄漏的電極夾頭，其要點為除采用O形圈上、下密封外，進液套與電極夾頭體之間要有一定配合精度和一定長度的配合表面，以阻尼和減小工作液泄漏的壓力和流量。
